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薄膜应变式邦纳传感器的应用特点

2021-04-12 11:32

       邦纳传感器薄膜应变传感器的薄膜应变片及传感器与扩散硅等传感器相比,其制造工艺环节要少得多。它的主要制造工艺环节是成膜工艺(如溅射、蒸发等)。由于工艺环节较少,工艺周期较短,成品率也就较高。这是它目前获得广泛使用的主要原因之一。薄膜应变片可以同弹性体键合在一起构成整体式薄膜传感器,也可以制成单一的薄膜应变片,再粘贴在弹性体上构成传感器。
 
       传感器的磁阻元件两个极间构成一个电阻器,电流在两个电极间流动时,载流子的运动路径会因磁场作用而发生弯曲使电阻增大。在电流的横向,电阻是无“头”无“尾”的,因此霍尔电势无法建立,有效地消除了霍尔电场的短路暴响。由于不存在霍尔电场,电阻会随磁场有很大的变化。
 
      邦纳传感器薄膜应变传感器适用于航天、航空工业,以及对稳定性要求较高的测控系统中。薄膜应变片的阻值可做得很高,通常均可做到几千到几万欧姆,因而其可在低功耗的状态下工作。薄膜应变片及传感器由于制造工艺的特点,使得其参数一致性远较半导体型和扩散型的高,适于大量生产,成本低廉,耐疲劳性能良好,量程大。